errorSQLSTATE[42S22]: Column not found: 1054 Unknown column 'title' in 'field list'errorSQLSTATE[42S22]: Column not found: 1054 Unknown column 'title' in 'field list' 국제모션컨트롤산업전

부스번호 : C419

회사명 에이피엠엔지니어링 | APM Engineering CO., LTD.
국 가 Rep. of Korea
주 소 경기도 부천시 송내대로 388, 202동 808호(약대동, 부천테크노파크) | 202-808 Bucheon Techno-Park,388, Songnae-daero, Bucheon-si, Gyeonggi-do, Korea, Zip code 14502
전 화 82-32-219-7700
팩 스 82-32-219-7707
URL www.apm.co.kr
E-mail -
주요 전시품목 반도체용 초순수 나노입자 정량시스템
출품품목
1. 반도체용 초순수 나노입자 정량시스템

※사용용도

- 반도체 제조공정용 초순수(UPW) 내 극미세 입자 모니터링(3 또는 10~20, 50, 80, 100nm, 등 4채널, 3nm 옵션 및 채널 확장 가능)

- 반도체 공정의 입자 오염 관리 및 원인 분석

※제품특징

- 기존 광산란 방식의 한계를 보완하여, 액체를 전처리한 후 액상 부피를 정량화하고 입자의 전기이동도 특성을 이용해 나노미터급 미세입자를 정밀하게 측정 가능

- SemiS2, 전자파(EMI, EMS), SEMI F47, 내진설계, 고조파 인증


1. Liquid Particle Size Monitoring System

※Applications

- Monitoring of ultrafine particles in UPW used in semiconductor manufacturing processes (4 channels: 3 or 10?20, 50, 80, and 100 nm, etc.; 3 nm option and channel expansion available)

- Particle contamination control and root-cause analysis in semiconductor processes

※Features

- Overcomes the limitations of conventional light-scattering methods by pre-treating the liquid, quantifying the liquid volume, and precisely measuring nanometer-scale fine particles based on their electrical mobility characteristics

- SemiS2, electromagnetic compatibility(EMI, EMS), SEMI F47, seismic design, and harmonic certifications
회사소개
(주)에이피엠엔지니어링(APM Engineering Co., Ltd.)은 국내 대기환경측정 및 분석 분야의 선진화에 일조하고자 1994년 3월 설립되었습니다. 30여년 동안 해외 유수의 측정기기 제조사와의 기술교류와 독자적인 국내 기술 개발로 국내 대기환경측정분야 발전을 위해 노력해오고 있습니다.

대기환경측정분야의 연구 발전을 촉진하기 위하여, TOF-AMS와 PTR-ToF-MS 등의 최첨단 장비를 국내에 보급 및 교육하고 있으며, 아울러 국내 최초로 PM2.5 Sequential Sampler의 국산화 개발을 완료하여 전국적으로 보급하였습니다. 또한 국내외 광산란 미세먼지 측정기 수요에 부응하여, PM2.5/PM10 Monitor의 개발을 완료하여 국내 미세먼지 측정 기술이 한 단계 성장하는 기틀을 마련하고자 합니다.

고객들의 믿음에 보답하기 위하여 고객 교육과 유지관리 부분에 중점을 두고, 당사 엔지니어들의 정기적인 교육과 해외에서 습득한 기술을 현장에 적용하기 위한 투자와 노력을 멈추지 않고 있습니다.

끊임없는 변화와 도전정신을 바탕으로 국내 대기환경측정분야의 주역으로 거듭나는 에이피엠엔지니어링이 될 수 있도록 아낌없는 응원과 격려 부탁드립니다. 환경과 사람을 위한, 환경과 국민건강지킴이의 역할을 충실히 해나가는 기업의 자세로 보답하겠습니다.

감사합니다.


Since 1994 APM Engineering Co, Ltd is a Korean company specialized in Air Quality Monitoring and analyzing with fully experienced technicians, engineers and specialists.

We have representing several cutting edge products for the worlds leading environmental manufactures. (e.g.OC/EC Carbon Analyzer for Sunset, Ambient particulate Ion Monitor for URG, PTR-MS for Ionicon, Aerosol Mass Spectrometer for Aerodyne, and BTEX Analyzer for Synspec).

We have our own well equipped Goverment-registered Research & Development Department with qulified researchers and engineers having Chemistry, Environmental Science and Engineering and Electronic Engineering majors. We are running Laboratory for analysis of Air Quality measurement, instrument calibration, development and maintenance.

We advise and recommend proper solutions for environment problems and support and supply instruments for monitoring and analyzing air quality in atmosphere, indoor and factory and factory side and for better understanding of the environmental processes of pollutants(e.g.particulate matter, and gaseous species including VOCs)

Thank you.
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